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SuperViewW1半导体白光干涉仪

干涉仪产品中图仪器SuperViewW1白光干涉仪，欢迎选购！

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可售量	100 台

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深圳市中图仪器股份有限公司
第 8 年
联系姓名：罗健
电话号码：18928463988
固定电话：0755-83318988
所在地区：广东省-深圳市
经营模式：生产厂家
主营产品：闪测仪, 激光干涉仪, 光学3D表面轮廓仪, 轮廓仪, 测长机, 高度计
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加工定制 :	否	类型 :	白光干涉仪
品牌 :	中图仪器	型号 :	SuperViewW1
品种 :	其他干涉仪	用途 :	微纳米三维形貌一键测量

产品详情

Product details

SuperViewW1半导体白光干涉仪可测2D/3D轮廓、粗糙度等，共300余种特征参数，在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用，能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

硅晶圆的粗糙度检测在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆。

制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的白光干涉仪才适用。

从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的SuperViewW1半导体白光干涉仪，以其高检测精度和高重复性，发挥着重要的作用。

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

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深圳市中图仪器科技有限公司致力于精密计量、检测仪器设备的研发、生产和销售。公司拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，历经了十多年的技术积累和发展实践，专项技术能力强，潜心进行计量、检测技术的发展。公司拥有2千平方米的现代化科研办公场地及3千平方米的精密加工、装配基地，配备了科研设施和精密加工设备，按照ISO9001标准进行生产，为客户提供高质量产品。十多年来，在研究长度、压力等计量检测技术的基础上，研发的CCD图像识别技术，设计制造了SJ2000/3000系列指示表自动检定仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ6000系列激光干涉仪，SJ5100系列光栅式测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ2200系列小角度检查仪、SJ2300系列气浮式垂直度测量仪、SJ200系列高度计、ZT5000/6000系列压力自动校验仪，促进了我国计量检测行业装备技术的升级进步。目前，公司拥有数十种自主开发的新技术产品，广泛应用于汽车、航空航天、机械、冶金、电力、石化等行业，参与制定了多项标准，为中国的计量、检测技术进步做出了应有的贡献。中图仪器，关注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展，自强不息、知难而上，用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度。

公司名称深圳市中图仪器股份有限公司

公司类型股份有限公司(非上市)

经营模式生产厂家

成立日期2005-09-30

经营地址广东省深圳市西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼

主营行业影像仪

主营产品闪测仪,激光干涉仪,光学3D表面轮廓仪,轮廓仪,测长机,高度计

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