加工定制 : |
否 |
品牌 : |
中图仪器 |
型号 : |
SuperViewW1 |
测量范围 : |
320×200㎜ |
测量精度 : |
0.1nm |
外形尺寸 : |
900×700×604㎜ |
用途 : |
微纳米三维形貌一键测量 |
重量 : |
<150㎏ |
中图仪器3d光学轮廓仪设备是以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学测量仪器。
能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
技术参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
中图仪器3d光学轮廓仪设备粗糙度分析操作步骤:
1. 将样品放置在夹具上,确保样品状态稳定;
2. 将夹具放置在载物台上;
3. 检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;
4. 使用操纵杆调节三轴位置,将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹;
5. 完成扫描设置和命名等操作;
6. 点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);
7. 进入数据处理界面,点击“去除外形”,采用默认参数,点击应用获取样品表面粗糙度轮廓;
8. 进入分析工具模块,点击参数分析,直接获取面粗糙度数据,点击右侧参数标准可更换参数标准,增删参数类型;
9. 如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;
10. 进入数据处理界面,点击“提取剖面”图标,选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取;
11. 进入分析工具界面,点击“参数分析”图标,点击右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。
优点
非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;
测量速度快,不必像探头逐点进行测量;
不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;
对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。
随着白光干涉测量技术的发展和完善,3d光学轮廓仪已经得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域,中图仪器3d光学轮廓仪设备可以提供更高精度的检测需求。
- 深圳市中图仪器股份有限公司
- 罗健 市场部
- 18928463988
- 广东省深圳市西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼
为您精选
- 汽车防爆膜透光率测试仪高精度太阳膜测试仪建筑隔热膜检测仪器纳森NS100
- NS101太阳膜测试仪/防爆膜检测仪/隔热膜测试仪/汽车膜检测仪
- 纳森雾度计NS700雾度仪塑料薄膜玻璃触摸屏导光板透光率雾度检测仪
- 高精度水滴角测试仪批发出售
- 上海众路CA-100A油墨、涂料、农药水滴角、接触角测量仪
- 防蓝光眼镜镜片监测仪眼镜镜片透光率测量仪UV400测试机纳森NS550C
- 众路仪器 全自动整体旋转型 动态,视频光学 CA100D 接触角测量仪
- 众路仪器 CA100B全自动进样型 测试精度高 视频光学接触角测量仪
- 德国BYK4561/4563微型表面光泽度仪
- 华致科技GJX-2型光干涉甲烷测定器校正仪
- 毕思特全自动化、超高清显微镜WBY-12C全自动文痕检比对显微镜
- NS530透光率仪汽车玻璃透光率仪