SuperViewW1 3d轮廓度测量仪是一种用于材料科学领域的分析仪器,也叫白光干涉仪。能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌,比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于测试直至100的反射率的各类高反表面。

SuperViewW1 3d轮廓度测量仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,让轮廓测量价格更为实惠,自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。做到在线监测、数据分析、超差报警、数据存储等,协助监测人员及时发现缺陷产生的原因;有效监控相关设备的性能,实现表面质量判定自动化,减少了因表面缺陷而引起的损失。

软件功能
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置;
提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正;
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量;
提供点、线、圆弧、角度等特征测量,以及直线度、真圆度等形位公差评定,为用户展现强大的轮廓分析功能;
提供基于表面的纹理分析,方便地观察纹理方向与纹理均质性;
提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能;
提供频谱分析功能,可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等;
提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能;
提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D,3D参数,参见参数表:
(3) 可视化的工作流模式,数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图,在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。
(4) 多样化的视图观察角度,3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征,并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。
(5) 内置多种分析方案,可对特定表面进行一键分析,自动生成一组分析结果;并可自定义方案,将用户的分析项目组合起来,避免重复操作。
(6) 便捷的同步分析功能,可实时提取表面二维剖面,同步计算更新参数指标,实现对样品的操作所见即所得。
(7) 拥有多种报表形式,用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。
SuperViewW1 3d轮廓度测量仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量。采用的光学非接触式测量方法,以及具有的测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,加上其光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
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