三维表面光学轮廓仪也叫白光干涉仪，作为一款亚纳米级精度的光学3D检测仪器，白光干涉仪常用于小巧、精密的零部件表面质量检测，但在许多特殊的应用场景中，标准白光干涉仪提供的样件空间尺寸已无法满足需求，为此，中图仪器全新推出WX-100白光干涉测头，为解决客户需求持续努力创新。

如在模具行业，由于表面质量要求非常高，常常需要采用光学检测手段来对粗糙度、微观轮廓等表面质量相关参数进行检测，但由于模具行业的工件，特别是在汽配模具等行业，工件尺寸可达数百毫米，而重量可达数百公斤，如下图某客户模具工件。

常规的三维表面光学轮廓仪已无法满足该客户工件的空间高度和负载要求，需要采用超大尺寸的规格，但以白光干涉仪使用环境的要求，若采用完全定制的方式，势必会极大地增加客户的成本。于是中图仪显微产品团队在完成对客户厂房环境考察后，利用客户现场一台已经废弃的三坐标平台进行气浮隔振改造，在完成隔振模块和WX-100测头的安装后，客户获得了一台具有大尺寸平台和负载的高精度白光干涉仪。

集成了白光干涉仪* 部分的白光干涉测头，WX-100保持了标准机型中优异的0.1nm分辨能力，同时在具备传统白光干涉测头的扫描功能外，还具备以下附加功能：

1.镜头电动倾斜调整：为客户“省钱省心”

区别于仅具备精密扫描模块和光学干涉系统的传统白光干涉测头，WX-100将倾斜调整装置从XY载物台移植到了测头中，赋予镜头进行偏摆俯仰等空间角度的调整能力，使得在应用场景中，只需为该款测头配置基础的气浮支撑平台，即可构成一台测量功能完整的高精度白光干涉仪。

2. Z向电动位移行程30mm：小量程，大作用

在应用场景中，我们常常遇到这样一种情形，客户的不同工件或工件的不同区域具有一定的高度落差，落差虽小，但由于无法被测头的扫描量程所覆盖，因此往往需客户方单独加装Z向位移导轨，给客户带来额外的花销，WX-100白光干涉测头在Z轴方向提供30mm行程，解决了这个问题，在30mm空间内，客户不必再为样品高度落差发愁，只需一键，即可轻松移动到位。

3.软件接口，二次开发：互联互通，为客户创造价值

常规的应用中，白光干涉测头是作为一个独立模块来使用，使用运行版本软件进行控制，和客户端提供的XY（Z）机台互不联通，独立完成Z向扫描的操作过程。而当客户具备二次开发能力的时候，这款WX-100提供Demo版软件和协议，客户可以将demo版软件集成到自己的客户端软件中，控制测头的运动和扫描，将WX-100白光干涉测头作为系统组件的一份子，与整个系统互联互通，发挥集体协作的效应，创造“1+1＞2”的价值。想客户之所想，思客户之所思，中图仪器WX-100白光干涉测头，以*完备的功能，为客户提供便捷、省心的服务，创造价值。

技术指标

产品功能

测量功能：能够实现样件表面的高精密Z向扫描，获取3D图像

分析功能：能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据

编程功能：支持预配置数据处理和分析工具步骤，一键完成测量到分析全过程

批量分析：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数数据实现一键批量分析