中图仪器自主研发生产的Superview W1 3d形貌轮廓测量仪，采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。还能够对各种表面的工件和材料从宏观到微观的进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径、表面粗糙度等几何参数进行亚微米、纳米级测量和分析。

Superview W1 3d轮廓仪基于白光干涉技术，具有精度高、使用方便、功能强等优点，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高xiao

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

产品配置

如何选择3d轮廓仪测量？首先确定测量工件是什么？什么材质？什么形状？多大尺寸？其次要测量的参数是哪些？测量精度要求是多少？而后看是否有其他特殊要求？

深圳中图仪器研发生产的SuperView W13d形貌轮廓测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，有自动多区域测量功能、自动聚焦、批量测量、自动调亮度等自动化功能，还有拼接测量功能。基于白光干涉原理，以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、台阶高度、锥角等等）

2、几何特征（关键孔径尺寸、曲率半径、特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）

因其精度高、使用方便、功能强等优点，再加上其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测，被广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

典型应用

现代化工业数字化测量要求高精度化、低成本和小型化，因为诸如汽车发动机等均要求其组成零部件必须具有非常高的精度，以便减少噪声、防止环境污染和节省能耗，这些都是时代对制造业提出的紧迫要求。 随着光机电一体化、系统化的发展，高精度加工和质量管理过程中，光学测量技术迅速发展，利用光学原理开发的非接触式SuperView W13d形貌轮廓测量仪及各种装置越来越多，进一步提高了精度化、测量效率。