国产SuperViewW1白光干涉仪设备能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面；检测结果以3D数据地图的方式显示，直观地展示了表面纹理特征。在数秒内，就可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

SuperViewW1白光干涉仪基于无限远 系统，通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学 系统变为光学3D表面轮廓仪。除了负责产生干涉条纹，各类干涉物镜还决定了系统许多关键性能，比如光学分辨率、工作距离、齐焦距离、坡度能力、视场范围等等。

产品组成

SuperViewW1白光干涉仪设备特征

1. 业界*高的垂直分辨率，强大的测量性能；2. 0.5~200倍的放大倍率； 

3. 任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程； 

4. 三维光学轮廓仪测量硬件的独特设计，增强生产环境中的可靠性和重复性；较高的震动

的容忍度和GR&R测量的能力专利的自动校准能力； 

5. 多核处理器下运行的Vision64软件，大大提高三维表面测量和分析速度数据处理速度

提高几十倍；分析速度提高十倍；

6. 无以伦比的大量数据无缝拼接能力 ；

7. 三维光学轮廓仪高度直观的用户界面，实用性强，操作简便和分析功能强

大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；独特的可视化操作工具；可自行设置数据输出的界面；

基于白光干涉原理，SuperViewW1白光干涉仪设备以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、台阶高度、锥角等等）

2、几何特征（关键孔径尺寸、曲率半径、特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）

3D形貌地图配合色谱图，非常直观；但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。SuperViewW1白光干涉仪通过对三维形貌的测量，能较为全面地评定表面质量的优劣，因为微观表面形貌直接影响着零件的技术性能评价，所以表面三维评定参数能全面衡量零件表面质量，因此表面三维微观形貌的测量就越来越重要。而在三维微观测量领域中，特别是在如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，光学三维表面形貌仪的测量精度高。