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SuperView W1白光干涉3d轮廓仪,三维形貌一键精密测量

干涉仪产品中图仪器SuperView W1白光干涉3d轮廓仪，欢迎选购！

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深圳市中图仪器股份有限公司
第 8 年
联系姓名：罗健
电话号码：18928463988
固定电话：0755-83318988
所在地区：广东省-深圳市
经营模式：生产厂家
主营产品：闪测仪, 激光干涉仪, 光学3D表面轮廓仪, 轮廓仪, 测长机, 高度计
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加工定制 :	是	类型 :	白光干涉仪
品牌 :	中图仪器	型号 :	SuperView W1
品种 :	其他干涉仪	测量范围 :	140x110x100mm
测量分辨率 :	0.1nm	用途 :	测量精密工件的微观形貌

产品详情

Product details

测量技术尤其是测量型仪器仪表，可以说是信息化时代下科学技术发展和国民经济提高的关键与基础，是信息产业的源头和重要组成部分。目前在3D检测领域中，白光干涉3d轮廓仪在同等系统放大倍率下的检测精度和重复精度，都高于共聚焦和聚焦成像（常见于闪测仪产品中），是检测精度高的仪器，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光3d轮廓仪，其他仪器都没有办法达到其测量精度要求。

深圳中图仪器研发生产的SuperView W1白光干涉3d轮廓仪为工件的微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据，一键式测量及分析，并自动生成测试报告，降低了劳动强度，提髙了生产效率。同时多种功能使得测量更方便准确，节约了大量资金，易于维护，方便工人操作，也提高了产品的质量，提升效率，是现代化企业常用的检测设备。

产品参数

产品组成部件

（1）干涉物镜

不同倍率的镜头，适应与从超光滑到粗糙各种表面类型的样品。

（2）3D重建算法

独特的重建算法，自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合测量精度可达到亚纳米级别。

（3）便捷式操纵杆

采用人体工程学设计，集成XYZ三轴位移和速度、光源亮度的自动控制，并配有紧急停止按钮，一杆在手，操作无忧。

（4）水平调整装置

倾斜调整旋钮，调整条纹宽度，提高3D图像的重建精度。

（5）双通道气浮隔振系统

外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统，有效隔离地面传到的振动噪声。

（6）真空吸附台

专为半导体晶圆片定制的真空吸附台，确保样品在测量过程中不受空气中微弱气流扰动的影响。

（7）声波隔振防护

仪器外壳与内部运动机构采用分离式设计，有效隔离了声波振动的传导。

光学规格

测量应用

以测量单刻线台阶为例，检查仪器线路接头后，打开电源开关，启动计算机，将工件放在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。然后打开计算机测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，仪器可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。