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产品详情
Product details
HVC-2700DA镀膜机设备配置表
序号 品名 数量 单位 品牌
1 机腔 1 台 HVC-2700DA
2 机械泵 2 台 韩国MS500AD/VP28K真空泵
3 罗茨泵 2 台 韩国BM-24A/MS500AD罗茨泵
4 电子 1 台 韩一
5 电子钳锅 1 套 12穴
6 离子源 2 台 韩一霍尔源
7 流量计(MFC) 2 路 韩一
8 压控APC 1 套 韩一
9 电控箱 加热系统 1 套 下加热
晶控 1 台 XTC晶控
PLC 及系统 1 台 韩一 原装
10 Poly-Cold冷冻机 2 台 韩国V-PLUS1000H
11 真空控制计 1 套 韩一
12 护板 1 套 韩一
13 阻蒸 1 套 韩一
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