等离子体清洗机用于湿法蚀刻前的晶圆清洗、表面预处理工艺简单.操作方便.没有废物处理.只需占用很小的洁净室空间，没有环境污染等问题。

等离子清洗机是一种新型的低成本、高性能、实验性远程射频等离子去胶系统，手动装载晶圆片，应用于单片晶圆光刻胶灰化、残胶去除及表面清洗工艺，可满足小型晶圆厂、大学实验室、初创公司的使用需求。等离子清洗机设备采用触摸屏+PLC全自动控制，凭借其时尚、紧凑的设计。

晶圆plasma表面清洗机器可以对各种材料进行涂层、电镀等，以增加附着力和粘合强度，同时清洁（有机）污渍、油污或油污（去除）。由于等离子表面处理机的特殊性，清洗后的被洗物可通过等离子清洗机清洗后烘干，无需风干或烘干处理即可送至下道工序，提高了可加工性。 .整个生产线的效率。晶圆等离子表面清洗机 

采用等离子清洗机的表面处理，晶圆plasma清洗机可控性强，一致性好，不仅能去除光刻胶等有机物，还能活化和粗糙化晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性.

等离子体表面处理设备的工作原理：在真空状态下，压力变小，分子间距离变大，分子内力变小。工艺气体与高反应性等离子体或高能等离子体碰撞并反应。它与有机物和颗粒污染物碰撞形成挥发物，然后通过工作气流和真空泵将其去除，从而实现等离子体表面的清洁和活化。

晶圆plasma表面清洗机器能去除多余的塑料密封剂/环氧树脂和其他有机污染物，提高金焊锡凸点的附着力，减少晶片压力破损，提高旋涂的附着力，蚀刻表面改性等离子清洗机，英文名称（plasmacleaner）

等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机

等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。等离子清洗机能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

等离子体清洗机在处理晶圆表面光刻胶能够去除表面光刻胶和其余有机物，也可以通过等离子清洗机的活化和粗化作用，对晶圆表面进行处理，能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法，等离子体清洗机干式处理的可控性更强，一致性更好，并且对基体没有损害。