等离子清洗机去除材料表面物、颗粒、脏污物、氧化物、有机物、去除光刻胶、电路板去胶，增加洁净度、提升亲水性、增强粘贴力

ICP硅刻蚀、CCP介质刻蚀、金属刻蚀，等离子清洗机实现各向异性刻蚀，保证细小图形转移后的保真性

芯片或者硅片与封装基板的粘接，往往是两种不同性质的材料，材料表面通常呈现为疏水性和隋性特征，其表面粘接性能较差，粘接过程中界面容易产 生空隙，给密封封装后的芯片或硅片带来很大的隐患，硅片清洗机工业等离子清洗机可以对芯片与封装基板的表面采用等离子体清洗机处理能有效增加其表面活性，等离子处理机改善了粘接环氧树脂在其表面的流动性，提高芯片和封装基板的粘结浸润性，减少芯片与基板的分层，改善热传导能力，提高IC封装的可靠性稳定性，增加产品的寿命。

等离子清洗机对引线框架的表面处理

微电子封装领域采用引线框架的塑封形式，仍占到80%，其主要采用导热性、导电性、加工性能良好的铜合金材料作为引线框架铜的氧化物与其它一些有机污染物会造成密封模塑与铜引线框架的分层，造成封装后密封性能变差与慢性渗气现象，同时也会影响芯片的粘接和引线键合质量 ，确保引线框架的洁净是保证封装可靠性与良率的关键，经等离子处理机清洗后引线框架表面净化和活化的效果成品良率比传统的湿法清洗会很大的提高，并且免除了废水排放，降低化学药水采购成本。

等离子清洗机优化引线键合（打线）

集成电路引线键台的质量对微电子器件的可靠陛有决定性影响，键合区必须无污染物并具有良好的键合特性。污染物的存在，如氯化物、有机残渣等都会严重削弱引线键台的拉力值。传统的工业清洗机湿法清洗对键合区的污染物去除不彻底或者不能去除，而采用等离子体设备清洗能有效去除键合区的表面沾污并使其表面活化，能明显提高引线的键合拉力，提高了封装器件的可靠性。