等离子清洗机是一种新型的低成本、高性能、实验性远程射频等离子去胶系统，手动装载晶圆片，应用于单片晶圆光刻胶灰化、残胶去除及表面清洗工艺，可满足小型晶圆厂、大学实验室、初创公司的使用需求。等离子清洗机设备采用触摸屏+PLC全自动控制，凭借其时尚、紧凑的设计，只需占用很小的洁净室空间，使用维护简单方便。

等离子清洗机去胶设备特点：

可处理8寸晶圆 ø203 mm，也可兼容处理3寸、4寸和6寸晶圆

12寸触摸屏+PLC全自动控制，具有手动和自动两种模式

PID自动真空压力控制，可精确控制过程压力(±1pa)，不受气体流量的影响

独特工艺气体分配喷淋结构，使进气更均匀，去胶均匀度≤5%

水冷放电电极，去胶过程工艺可控(可选择加热功能)

等离子清洗机去胶设备应用于光刻胶灰化、剥离和残胶去除

· 湿法蚀刻前的晶圆清洗、表面预处理

· 晶圆应力释放

· Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Pt、聚酰亚胺等各种材料的蚀刻（可选配）

等离子清洗机能增加材料表面张力和附着力，如在塑料、橡胶、硅胶行业，可显著提高表面附着力。

等离子清洗机的预处理是采用等离子表面处理机在AF、AS、AG、AR镀膜（喷涂）工艺前，对基材表面进行精细化清洗、蚀刻和活化，可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于喷涂药水的附着牢固和厚薄均匀。

等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机

等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

等离子清洗机能让玻璃盖板清洗得彻底，对玻璃盖板表面的主要清洗作用是活化，能使有机污染物化学反应成碳氢化合物，生成二.氧.和水从玻璃盖板表面除去，促进下一步蚀刻、涂覆、粘接等工艺，大大提高了产品良率。