气体器气 0-500 sccm 型号:XLRB-D07-19B库号：M328569   

仪及其它分析仪器。

( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,

规格

300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

2

准确度

士1 % F.S. (20,30SLM: +2

% F.S.)

+0.5 % F.S. (20,30SLM:

3

线

+2 % F.S.J

4

复精度

+0.2 % F.S.

5

响应时间

s2 sec

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa

6

工作压差

(14.5~72.5 psid)

范围

> 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa

(14.5~43.5 psid)

7

大工作

1 MPa

8

耐压

3 MPa (435.1 psig)

9

工作环境

5°C~45°C

温度

0V~+5.00V.

10

输入

(输入阻抗大于100K,电

号

流不大于3mA)

11

电源

+15V 50 mA; -15V 200

mA

12

外形尺寸

见图4

13

重量

0.95 kg