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离子溅射仪非磁控/ 型号:HFD-12库号:M363288
真空泵抽速快,噪音低,适合实验室使用;


参数:
1. 玻璃处理室:Φ108mm,高度135mm;
2.试样台尺寸:Φ40mm,可同时放6个样品杯;
3.金靶尺寸:Φ57mm;
4.真空系统:直联旋片真空泵2L/S;
5.真空:氏计,配合真空指表,灵敏;
6.真空保护:20pa配有微量充气阀调节工作真空;
7.工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气节;
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