离子溅射仪非磁控/ 型号:HFD-12库号：M363288 中西

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离子溅射仪非磁控/ 型号:HFD-12库号：M363288

真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；

参数：

1. 玻璃处理室：Φ108mm,高度135mm;

2.试样台尺寸：Φ40mm,可同时放6个样品杯；

3.金靶尺寸：Φ57mm;

4.真空系统：直联旋片真空泵2L/S；

5.真空：氏计，配合真空指表，灵敏；

6.真空保护：20pa配有微量充气阀调节工作真空；

7.工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气节；

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