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等离子清洗机适用于各种材料的表面改性处理∶表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积。
OLED显示器件生产工艺中等离子清洗机主要用于生产工艺线上有机沾污的清洗处理。
等离子体清洗机的表面处理能向材料表面的分子链引入极性官能团,能够增加材料表面的能量。
等离子体清洗机的表面处理可改善表面粗糙度,去除材料表面弱界面层,提高难粘材料的粘附性及强度
本公司二十一年的等离子处理设备生产经验,可提供个性化的定制服务,根据不同的行业、不同客户,实现等离子系统性能、配置、工装的量身定制,使系统 融入客户产线,实现方便的等离子清洗机的应用,满足客户需求。
OLED显示器件生产中等离子清洗机的应用
在封装过程中,器件和材料表面的各种沾污会明显的影响封装生产及产品质量,而常压下等离子清洗机,不受真空条件的约束,能够很容易地清除掉生产过程中形成的这些分子水平的污染,从而显著地提高封装的可靠性以及产品成品率。可以集成到自动生产线上,对高世代,大尺寸的基板进行清洗。
光刻胶的清洗去除在生产工艺中,光刻技术在其中占有很多的比例,为了在基板上形成图形化,需要使用大量光刻胶。当光刻胶沉积在机台设备上时,不仅影响设备运行,还会加速设备老化,需要定期清洗。常规清洗需要对设备进行拆装,极不方便。常压等离子处理设备喷枪的等离子射流却可以很方便的处理一些难以到达的缝隙。
在OLED生产工艺中等离子体清洗机有着非常重要的应用
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