溅射蒸碳仪 型号:S9AT/SD-900C库号:M402923
规格 参数
主机 300mm×360mm×380mmW×D×H
副机 300mm×360mm×140mmW×D×H
真空规 拉尼真空计
溅射靶 二直流溅射靶 标配磁控靶选配
靶材尺寸 Φ50mm×0.1mmD×H
靶材 Au(纯度99.99%
蒸发材料 碳纤维绳
样品室尺寸 160mm×120mmD×H,硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
蒸碳面积 140mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
溅射大电流 50mA 磁控靶100mA
热蒸发大电流 100A
溅射定时器时间 0-360s
热蒸发时间 0-1s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
溅射高电压 -1600DCV
热蒸发高电压 28V
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 40Kg

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