表面处理机/小型离子溅射仪 型号:KM1-SBC-2库号：M208809   

试样表面处理机是为扫描电镜和电子探等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析，尤其是成分的定量分析更为适宜。本仪器装有机械泵、分子泵，分子泵系统特别适用于对真空要求高、真空环境好的用户选用。

※ 主要用途：真空镀膜，离子溅射，真空蒸碳等。

※ 主要特点：抽速快，操作简便，真空度高，。

规 格

一、试样处理室

1钟罩：内径250mm×高度340mm

2玻璃处理室：

玻璃罩 A:内径88mm×高度140mm

玻璃罩 B:内径88mm×高度57mm

3试样台：直径40mm大

4试样旋转：电动

5挡板：电动

6蒸发加热器：可同时安装两个加热器

二、真空系统

1抽气系统：由分子泵、机械泵组成的高真空机组

2真空：电阻规、冷规

3常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa

4操作：手动

三、处理电源：

1高压电源：DC 2000V 10mA连续可变，用表指示。

2低压电源：AC 10V 60A连续可变，电流用表指示。

、体积重量：

1体积：L800mm×W560mm×H1340mm

2重量：约150公斤

五、电源要求：AC 220V 50Hz 10A

六、气体要求：氩气--纯度99.9%(对样品有要求时可使用)

七、冷却要求：

本系统采用F100/110F普通轴承风冷涡轮分子泵，其冷却方式为风扇强制风冷、通水冷却两种，当工作环境温度低于摄氏32度时，可采用风冷冷却，当工作环境温度高于摄氏32度时，则采用水冷。目前本系统标配为风扇风冷形式。