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小型离子溅射仪 型号:BZ19-SBC-12库号:M121692
主要能指标:
玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系统:直联旋片真空泵2L/S
真空:氏计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节

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