硅片退火炉是光伏、半导体硅片热处理工序中的关键装备。广东莱宝智能装备股份有限公司深耕工业热工装备26年,可根据硅片规格与产能节拍量身开发。
1. 规格与结构
炉体腔体尺寸、进出料方式按客户产线定制,可做单机台或对接上下游流水线的在线式结构,常见适配硅片尺寸覆盖主流光伏与电子级规格。
2. 材质与做工
内腔采用耐高温不锈钢,保温层厚实,钣金加工至整机测试均在自有车间完成,出厂执行完整检测流程。
3. 主要参数
温度区间可按工艺设定,控温均匀性稳定,升温曲线可编程,洁净等级与防爆要求可按工况配置,具体参数来电沟通确认。
4. 用途与特点
适用于硅片退火、去应力及烘烤制程,控温稳定、温区一致性好,支持非标定制,交期有保障。价格面议,欢迎来电询价。
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