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改进的高灵敏度测量
许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率(面电阻率和体电阻率)。传统测量方法是对样本施加足够高的电压,测量流经样本的电流,然后利用欧姆定律(R=V/)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流,很难准确进行测量,但利用吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。
即使利用高精度仪器,材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应,绝缘材料、聚合物和塑料通常都显示出背景电流。这些背景电流一般等于或大于施加电压产生的电流。在这些情况下,其测量结果往往是不稳定的,生成不准确的电阻或电阻率读数甚至错误的负值。吉时利6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题,并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量,特别是与8009型电阻测试夹具一起使用时。
变换极性法
6517B型静电计/高阻表使用变换电极法,实际上消除了样本的背景电流。并剔除背景电流的第 * 级和第 * 级漂移。变换电极法施加一个正极性电压,然后在指定延迟(测 * 时间)后测 * 电流。接着,改变电极性,使用相同的延迟,重新测量电流。连续重复这个过程,并根据4个 * 新电流测量结果的加权平均值计算出电阳。对大多数材料来说,通过7次反转(即舍弃前 3个读数),这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻(或电阻率)测量结果。例如,利用8009型测试央具0.3%的重复度,可对1mm厚的10“Q-cm材料样本进行测量,在15秒测试周期内其背景电流低于200fA
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