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技术参数
测量
范围 Z轴（垂直） 160μm
X轴（水平）17.5mm（0.69inch）
分辨率 Z轴
（垂直） 0.002μm/±20μm
0.004μm/±40μm
0.008μm/±80μm
显示器 2,4英寸IPS/320X240点阵
测量
项目 参数 Ra、Rz、Ry、Rq、Rc、Rt、Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz（JIS）、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rpc、Rmr
图形 支承率曲线，粗糙度，原始轮廓，滤波波形
参数范围 Ra、Rq：0.005μm~16μm
滤波器 RC,PC-RC,Gauss,D-P
取样长度(lr) 0.25,0.8,2.5mm
评定长度（ln） Ln=lr×nn=1~5
传感器 测量原理 差动电感式位移传感器
触针 金刚石，90/60°锥角，5μm/2μm针尖半径
测力 <4mN
导头 硬金，滑行方向半径40mm
滑行速度 lr=0.25,Vt=0.135mm/slr=0.8,Vt=0.500mm/s
lr=2.50,Vt=1.000mm/s返回Vt=1.000mm/s
示值±(5nm+0.1A)A:多刻线样板参数Ra的标准值
示值变动性 不大于3%
残余轮廓 不大于0.010μm
电源 内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电
外形尺寸 142×55×40mm
重量 约350g
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