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产品详情
Product details
SAK高精度硅片测厚仪GP-T-2
SAK,硅片测厚仪,GP-T-2
产品简介
GP-T-2半导体测厚仪结构紧凑,自带集成式工业电脑,采用高精度大量程光谱共焦测头,该测头高精度、高稳定性,且对于不同材质、不同表面产品具有优异的适用性,使得本品在测量硅片厚度、TTV及弯曲度等参数方便快捷,测量准确
技术参数
精度1 | ±0.5µm | |
重复性2 | ±0.25µm | |
分辨率 | 0.1µm | |
测量项目3 | 厚度(Thickness)/平整度(TTV)/弯曲度(Bow) | |
测量范围 | 晶圆直径4 | 50mm - 300mm |
晶圆厚度 | 100µm - 2000µm | |
电压输入(电压): | 220VAC | |
电压输入(频率): | 50 to 60Hz | |
使用温度范围: | 15 to 40ºC | |
尺寸(长x 宽x 高): | 450*550*550mm | |
重量: | 约50Kg | |
环境要求 | 温湿度稳定,环境洁净,无振动 | |
1.在 22±2ºC 恒定的温度下
2.在可重复定位的条件下
3.平整度(TTV)及弯曲度(Bow)不作为设备验收指标,厚度验证使用标准厚度样件
4.对应晶圆规格为2寸–12寸
搜好货供应商深圳市勤联科技有限公司供应SAK高精度硅片测厚仪GP-T-2，为您提供详细的产品报价、参数、图片等商品信息，如需进一步了解SAK高精度硅片测厚仪GP-T-2，请与厂家直接联系，请在联系时说明是在搜好货网看到这条商机的。
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此SAK高精度硅片测厚仪GP-T-2产品由深圳市勤联科技有限公司在2023-11-23T11:57:58更新，主要更新内容为：产品参数,产品价格,产品图片,产品详情,产品促销语信息。
