hyacinth电源维修高压射频电源维修HTCM0110

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hyacinth高压电源维修HTMV/HTEV系列 hyacinth射频电源维修

维修范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频RF电源及匹配器维修，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP设备电源，包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。

当滤波电容上无380VDC左右电压时，说明PFC电路没有正常工作，PFC模块关键检测脚为电源输入脚VC，启动脚Vstart/control，C/RT脚及V0脚。测试一板上滤波电容上无380VDC电压。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，测量场效应功率开关管无V0波形，由于FA5331(PFC)为贴片元件，机器用久后出现V0端与板之间虚焊，V0信号没有送到场效应管。将V0端与板上焊点焊好，用万用表测量滤波电容有380VDC电压。当Vstart/control端为低电平时，PFC亦不能工作，则要检测其端点与外部相连的有关电路。