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1000度高温 热台 高温探针台 材料性能表征 薄膜与界面性能研究

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加工定制 :
品牌 :
郑科探
型号 :
KT-Z1000MR
产品规格 :
重量 :
3
产品用途 :
科教实验
产品详情
Product details

1000度高温 热台 高温探针台  用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体 材料科学 纳米技术 光电子 薄膜技术等领域

半导体器件测试与表征.

1.材料性能表征

2.薄膜与界面性能研究

3.功能材料及元器件的研发

4.微电子技术与工艺研究

5.热学性能测试与研究 


1000度高温 热台 高温探针台  用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体器件测试与表征材料性能表征薄膜与界面性能研究  功能材料及元器件的研发 微电子技术与工艺研究 热学性能测试与研究 


技术参数;

真空腔体

类型

高温加热型1000℃(高于600℃需真空环境)

腔体材质

6061铝合金

腔体内尺寸

147mmX72mmX22mm

腔体外尺寸

170mmX95mmX37mm

腔体重量

1.1KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

腔体抽气口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体真空测量口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖水冷

腔体水冷接口

6mm快拧 6mm快插

腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa 5分钟)  分子泵≤5E-3Pa30分钟)

样品台

样品台材质

高温绝缘陶瓷

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

样品台-视窗 距离

13mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

样品台测温传感器

S型热电偶

样品台温度

室温到1000

样品台隔热材料

金属屏蔽+陶瓷隔热

样品台测温误差

±1

样品台升温速率

高温100/min  

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