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1000度高温 热台 高温探针台 用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体 材料科学 纳米技术 光电子 薄膜技术等领域
半导体器件测试与表征.
1.材料性能表征
2.薄膜与界面性能研究
3.功能材料及元器件的研发
4.微电子技术与工艺研究
5.热学性能测试与研究
1000度高温 热台 高温探针台 用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体器件测试与表征材料性能表征薄膜与界面性能研究 功能材料及元器件的研发 微电子技术与工艺研究 热学性能测试与研究
技术参数；
真空腔体 | |
类型 | 高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境） |
腔体材质 | 6061铝合金 |
腔体内尺寸 | 147mmX72mmX22mm |
腔体外尺寸 | 170mmX95mmX37mm |
腔体重量 | 约1.1KG |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖水冷 |
腔体水冷接口 | 6mm快拧 或 6mm快插 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
样品台 | |
样品台材质 | 高温绝缘陶瓷 |
样品台尺寸 | 26x26mm |
样品台加热方式 | 电阻加热 |
样品台-视窗 距离 | 13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
样品台测温传感器 | S型热电偶 |
样品台温度 | 室温到1000℃ |
样品台隔热材料 | 金属屏蔽+陶瓷隔热 |
样品台测温误差 | ±1℃ |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 值 |
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