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1000度高温热台高温探针台用于观察高温样品结晶过程和热电阻测试光学测试

其他试验机产品郑科探KT-Z400MR4T高低温真空环境模拟试验设备，欢迎选购！

价加格	¥36800
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郑州科创实验仪器设备有限公司
联系姓名：全女士
电话号码：15515545802
所在地区：河南省-郑州市
经营模式：生产厂家
主营产品：气体配比器, 真空探针台, 石英管真空封口机, 等离子清洗机, 小型蒸镀机, , 温湿度环境发生器, 真空加热退火炉
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加工定制 :	是	品牌 :	郑科探
型号 :	KT-Z400MR4T	产品规格 :	台
重量 :	3	产品用途 :	科教实验

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1000度高温热台高温探针台用于观察高温样品结晶过程和热电阻测试光学测试高温真空探针台主要应用于半导体材料科学纳米技术光电子薄膜技术等领域

半导体器件测试与表征.

1.材料性能表征

2.薄膜与界面性能研究

3.功能材料及元器件的研发

4.微电子技术与工艺研究

5.热学性能测试与研究

1000度高温热台高温探针台用于观察高温样品结晶过程和热电阻测试光学测试高温真空探针台主要应用于半导体器件测试与表征材料性能表征薄膜与界面性能研究功能材料及元器件的研发微电子技术与工艺研究热学性能测试与研究

技术参数；

真空腔体
类型	高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境）
腔体材质	6061铝合金
腔体内尺寸	147mmX72mmX22mm
腔体外尺寸	170mmX95mmX37mm
腔体重量	约1.1KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖水冷
腔体水冷接口	6mm快拧或 6mm快插
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	高温绝缘陶瓷
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热
样品台-视窗距离	13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
样品台测温传感器	S型热电偶
样品台温度	室温到1000℃
样品台隔热材料	金属屏蔽+陶瓷隔热
样品台测温误差	±1℃
样品台升温速率	高温100℃/min 值

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