1.产品优势
v 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
v 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
v 低耗能、耗气产品。
v 便捷的收放板方式。
v 真空系统集成，占地面积小。
v 合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
v 集成的控制系统设计，使操作更方便。
2.产品规格
真空等离子主机 | ||
设备尺寸 | L1000×W900×H1750mm | |
重量 | 500Kg | |
需求电源 | AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） | |
等离子发生器规格 | ||
电源功率 | 射频 | 中频 |
0~600W | 0-1000W | |
电源频率 | 13.56MHz | 40 KHz |
真空系统 | ||
真空泵 | 飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h | |
真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | |
材质 | 铝合金 | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 焊接密封 | |
腔体内部尺寸 | 450×450×500mm（宽×高×深） | |
电极板有效尺寸 | 322×351mm（宽×深） | |
可用空间间距 | 20mm | |
电极板布置方式 | 水平电极板 | |
工作托盘 | 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） | |
工作空间 | 8层 | |
工艺气体 | ||
流量范围 | 0~300SCCM | |
工艺气体气路 | 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 | |
控制系统 | ||
系统控制 | PLC | |
交互方式 | 7寸触控屏幕 | |
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