广东省肇庆市翔兴电子设备制造有限公司

（直流、中频、偏压）真空镀膜/磁控溅射电源产品介绍

一、直流磁控溅射电源

直流磁控溅射电源-A型；直流磁控溅射电源-B型；直流磁控溅射电源-C型；

1．简介：直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及反应膜层环境使用。

2．产品特点：

（1）输出高频脉动直流电，纹波小，响应速度快。

（2）人机交互操作界面，DSP数字芯片控制，RS485通信；远/近控切换，IGBT逆变。

（3）操作界面自定义恒流、恒压、恒功率控制。

（4）内置储能电子电抗，自动匹配负载。

（5）抑制靶材弧光放电，理想的电压陡降特性，自动识别伪打火 

（6）完善的保护功能，设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。

（7）工艺重复性好，成膜速度快， 实现高质量的溅射膜层。

（8）A型-单极电磁能器件储电输出。

   B型-单极电场能器件储电输出。

   C型-单极(电磁能+电场能)器件储电混合输出。

（9）适用于单靶材溅射供电，接线方法：正极端子接容器外壳，负极端子接靶材引出电极；同时要求容器外壳接入大地。

3．技术参数【注：ZL-60KW为(主机+从机)2单元组合】

二、中频磁控溅射电源

1．简介：

中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，输出频率设为典型的中频，中频电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有得到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。

2．产品特点：

（1）适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料；特别适用于磁控反应溅射环境使用。

（2）人机交互操作界面；单片机智能控制；RS485通信；非晶逆变；模块IGBT设计。

（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制；输出电压、输出电流宽范围调节。

（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、短路等多重保护。

（5）内置电子电抗；自动匹配负载；输出频率2×40KHz。

（6）自动抑制靶材弧光放电及靶材表面中毒。

（7）镀膜工艺重复性好；提高成膜速度。

（8）高频交流输出。

（9）适用于孪生靶材溅射供电，接线方法：P1端子接靶材一个引出电极，P2端子接靶材另一个引出电极；同时要求容器外壳接入大地。

3．技术参数【注：ZP-60KW为(主机+从机)2单元组合】

三、偏压磁控溅射电源

(直流)偏压磁控溅射电源；(脉冲)偏压磁控溅射电源；

1．简介：

偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压，偏压电源输出端有两个电极，一个正极(+)，一个负极(-)，使用时要求正极(+)端子连接镀膜设备真空室外壳，负极(-)端子连接到工件，同时要求真空室外壳必须接入大地（大地的电位定义为零电位），由于偏压电源工作时输出端正极(+)电位高于负极(-)电位，而正极(+)端子又被接入大地，电位为零，于是负极(-)端子输出是一个负电压，正是这个加在工件上的负电压习惯说为负偏压，简称偏压；根据输出波形分类，偏压电源主要包括直流偏压和脉冲偏压两种，使用者可根据不同的膜层工艺要求配置不同技术标准的偏压电源。

2．产品特点：

（1）(直流)偏压：输出负极性直流电压（输出端正极连接真空室外壳，输出端负极连接到工件）。

   (脉冲)偏压：输出负极性脉冲电压（输出端正极连接真空室外壳，输出端负极连接到工件）。

（2）人机交互操作界面；DSP数字芯片控制；RS485通信；远/近控切换；非晶逆变。

（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制。

（6）内置电子电抗；自动匹配负载。

（5）内置大功率高频开关稳压电源。 

（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。

（6）提高真空等离子体内带电粒子能量，轰击清洁被镀工件表面，提高沉积膜层的结合力。

（7）适用于单靶材溅射供电，接线方法：正极端子接容器外壳，负极端子接工件引出电极；必须把容器外壳接入大地。

3．技术参数【注：PY-60KW为(主机+从机)2单元组合】

四、扩散泵电磁加热器

扩散泵电磁加热器-1型(KSB800-1;KSB1000-1)；扩散泵电磁加热器-2型(KSB800-2;KSB1000-2)；

1.产品概述：本产品是专为扩散泵加热而量身设计的电磁加热器，它的具有加温快、降温快、节能、耐用、抗干扰等特点。扩散泵电磁加热器是真空镀膜设备扩散泵的专用加热系统，加热速度快、节能环保、比电热丝加热可以省电40%左右。安装非常简单，根据功率和扩散泵的尺寸制作扩散泵电磁感应线圈，线圈做好后直接固定在扩散泵底部，电磁感应加热用在真空扩散泵中具有使用安全、加热速度比电热丝加热快2/5的时间，节约了预热成本提高了生产效率，电磁感应加热原理是通过电磁感应线圈直接对真空扩散泵底部感应加热，扩散泵底部自身发热。电热丝加热方式是加热盘自身的温度加热到很高温度然后传递到扩散泵底部，这样就会有大量的热量散失到空气中，增加了车间的温度还造成了能量损失。电磁感应加热是使扩散泵底部自身发热没有热量损失， 线圈装好后一般可以用到3-5年，后期没有什么维护成本。电热丝加热很容易损坏，使用时间久了功率还会衰减，所以电磁感应技术应用在真空扩散泵中是很理想的一种加热方式。

2.产品简介：本产品分单机组合和双机组合两种规格，线盘分为800mm和1000mm两种规格，峰值加热电流约为28A，维持加热电流约为12A，泵油加热到沸腾约需1小时左右，通过温表菜单可设置上限加热温度和下限加热温度。

3.技术参数 

4．线盘

（1）线盘直径： 800mm；1000mm；

（2）线盘电感量：空载时电感量170uH-180uH；带载时电感量70uH-80uH，修正电感量可调整线盘与扩散泵底盘之间的距离。