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标刻速度：5000mm/s 定位速度：10000mm/s1% 全行程：≤0.26ms 10%全行程：≤0.62ms 非线性度：<1mrad/44° 重复精度：<2μrad 增益漂移：<50PPM/k 零位漂移：<25μrad/k 小时漂移：<0.1mrad 扫描角度：±0.35rad 镜片光斑：10mm 接口协议：XY2-100 供电：±15VDC，3A 重量：2100g 工作温度：25℃±10℃ 分辨率：16bit 入射孔径：10mm 波长：10600nm、1064nm、532nm、355nm
可用于半导体、极耳切割、3C电子、脆性材料切割、3D打印等。
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