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科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
技术参数：
控制方式 | 手动控制/自动控制切换 |
前级泵接口 | KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000转/分 |
分子泵抽气速率 | 140L/S |
分子泵启动时间 | ≤2min |
空载极限压强 | ≤1X10-4Pa |
真空测量方式 | 冷阴极标准规管 |
真空测量范围 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空测量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5% |
抽气接口 | KF25 |
阀门类型 | KF25手动挡板阀 |
系统电源 | AC220V |
系统功率 | ≤1KW |
环境温度 | 5~32℃ |
冷却方式 | 强制风冷却 |
湿度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （宽-深-高） |
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