分子泵机组 清洁的高真空获得设备# #高真空复合分子泵组
分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统,具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、泵体加热控制、电器控制系统、水冷却保护控制等。 拆开包装箱,将设备从箱体中取出,检查设备有无损坏,将设备的电源线接好,将地线与设备机壳连接。如果是三相供电方式,初次通电时需要观察机械泵的相序,打开总电源开关,观察分子泵机组电源的相序指示灯,如果相序指示灯亮表明机械泵相序正常;如果相序指示灯不亮表明机械泵相序不正常。关掉总电源,将三相电源线中的任意两相对调,以确保机械泵相序正确。@科探仪器设备
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