桌面小型离子溅射仪郑科探

其他实验仪器装置产品郑科探KT-Z1650PVD溅射仪，欢迎选购！

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郑州科探仪器设备有限公司
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所在地区：河南省-郑州市
经营模式：生产厂家
主营产品：实验室仪器
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加工定制 :	是	品牌 :	郑科探
型号 :	KT-Z1650PVD	测量范围 :	2
电源 :	3	工作电压 :	220
外形尺寸 :	30	重量 :	22

产品详情

Product details

桌面小型离子溅射仪，

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪在扫描电镜（SEM）的样品喷金方便为专用的仪器，样品的导电性及导热性可以非常有效的提供，使恒沉积速率得到确保，使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少，使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。

桌面小型离子溅射仪技术参数；

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
溅射电源	直流溅射电源
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1000W
输出电压电流	电压≤1000V 电流≤1A
真空	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空	≤30Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品溅射源调节距离	40-105mm
真空测量	皮拉尼真空计（已安装测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口	KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口