Setra西特227表压复合超高纯压力传感器

Setra西特227表压复合压绝压超高纯压力传感器
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气
体棒和面板设计，能够满足如今 300 mm 工具的要求。该
型号占用空间仅 11/8″，能节省宝贵的空间 ；结构坚固，是
要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测
量应用于
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同， Setra 227 型压
力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接
液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛
光至 5 Ra（大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实
现无污染气体输送。
227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输
出类型，精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符
合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接
口，另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针
D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合
使用时， 227 型可实现理想的压力测量和显示。
零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还
可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比
227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术，配有
316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地
构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使
电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷
平衡原理，通过 Setra 独特的定制集成电路将其转换为高
精度的线性直流电信号。
Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传
感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳
定的电压或电流输出信号。