磁控溅射仪型号:LH12-SC-SU-I库号:M264255
参数指标石英仓尺寸150X120MM样品台尺寸70mm溅射面积50mm高真空度5pa可通气体氩气,氮气等惰性气体高溅射速度8nm/min整机功率200W机器尺寸360(W)X310(D)X150mm(H)
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