加工定制 : |
是 |
净化级别 : |
十万 |
品牌 : |
南京博泰 |
型号 : |
可选 |
杀有害菌率 : |
99.99% |
杀霉菌率 : |
99.99% |
除尘率 : |
99.99% |
负离子浓度 : |
1000 |
废气净化率 : |
99.95% |
规模 : |
以生产规模为准 |
适用地 : |
电子厂房、电子车间 |
报价方式 : |
以实际报价为准 |
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD(静电控制)、AMC(气态分子级污染物)控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
AMC(气态分子级污染物)是危害生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质。AMC(气态分子级污染物)会在半导体制造的栅底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上造成各种危害,影响产品质量,是半导体制造面临的越来越严峻的问题,也是生产环境控制中亟待解决的问题。





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