一、KEITHLEY吉时利静电计6514型号主要技术指标：

电流测量：<1fA(包含噪声)～20mA。

电压测量：10μV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V。

电阻测量：10Ω～200GΩ; zui 低电阻精度优于1%，zui 高电阻精度优于10%;(使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值)。

电荷测量：10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～20μC。

特性插头：3 Slot Triax

IEEE-488：有

RS-232： 有

Guard ：有

CE ：有

其它：5 1/2精度，替代6512、617-HIQ。

附件：237-ALG-2低噪声三同轴电缆，鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线。

KEITHLEY吉时利静电计6514具有灵活的接口性能，其电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度都优于我们之前的静电计。内置式IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。

二、KEITHLEY吉时利静电计6514型特点：

(1)<1fA 噪声;

(2)电压测量时，输入阻抗>200TΩ;

(3)电荷测量范围：10fC-20μC;

(4)速度可达1200个读数/秒;

(5)简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器;

(6)主动消除电压与电流的偏移。