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| KYKY-2800系列 | |||||||||
| 实用型扫描电子 | |||||||||
| 项目 | KYKY-2800B | KYKY-2800BZ | KYKY-2800A | KYKY-2800AZ | |||||
| 分辨率 | 4.5nm(30KV) | ||||||||
| 放大倍数 | 15x~250,000x | ||||||||
| 电子 类型 | 发叉式钨丝阴极 | ||||||||
| 加速电压 | 0~30KV | ||||||||
| 透镜系统 | 三级电磁透镜 | ||||||||
| 物镜光阑 | 三个光阑可在真空外选择调节 | ||||||||
| 样品台 | 手动 | X/Y轴自动 | 手动 | X/Y轴自动 | |||||
| 行程 | X | 0~50mm(大样品台0~80mm) | |||||||
| Y | 0~50mm | ||||||||
| Z | 0~25mm(大样品台0~30mm) | ||||||||
| R | 360º | ||||||||
| T | ‘-5º ~90º （大样品0º~90º） | ||||||||
| 探测器 | 二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选） | ||||||||
| 真空系统 | 扩散泵 | 扩散泵 | 分子泵 | 分子泵 | |||||
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