叉指电极传感器主要包括四个结构参数,分别为:叉指电极对的对数、叉指宽度、相邻叉指之间的间隙距离以及叉指电极的厚度。这四个参数对基于叉指电极的生化传感器关键性能指标都有很大影响。通过分析叉指电极阻值的计算公式可发现,叉指的长宽比越大,叉指的密度越大,叉指电极的初始电阻越小,从而传感器的灵敏度和响应速度就会越高。当叉指电极结构尺寸减小到微米量级以下,叉指电极结构间的微弱的电阻变化可以被灵敏地检测到,叉指电极传感器的灵敏度得以显著提高。叉指电极结构周围的电场分布可以通过理论分析以及数值模拟计算得到,计算结果表明叉指电极传感器的电场强度与电极厚度成近似反比关系,电极越厚,电场强度越小。因此,通过优化叉指电极传感器的相关结构参数可以提高生物化学传感器的性能,当应用于不同的传感检测领域时,可能需要使用不同结构参数的叉指电极结构



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