THINKFOCUS 光谱共焦位移传感器 CDS-500/OP3-Fc 高精度测量仪器

光谱共焦位移传感器 CDS-500/OP3-Fc广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。

光谱共焦位移传感器原理

光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行高精度的测量，测量点不会改变。

光谱共焦位移传感器  CDS-500/OP3-Fc

颠覆激光位移传感器的新一代超高精度位移测量计 

分辨率0.5nm

小光斑3.4um，可做非接触表面粗糙度或微观2D/3D形貌测量

透明体、非透明或斜坡表面均可测量

可测量透明体厚度， 小可测厚度0.4um

光谱共焦位移传感器  CDS-500/OP3-Fc典型应用：

微位移振动测量       压电驱动器微位移振动测量，磁致伸缩位移，生物力学形变

精确定位                         LAMOST光纤定位，平面的定位等

旋转体跳动测量          机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等

透明体厚度测量          玻璃厚度，透镜厚度，膜厚，水膜厚度等

 轮廓/3D形貌测量        透镜轮廓扫描，磨损量测量，3D形貌扫描等 

光谱共焦位移传感器 CDS-500/OP3-Fc应用

微 位移、微形变高精度测量

超高线性度，可以作为传感器的标定使用

通过长度测量可以测量计算难以获取的微小应变

 纯光学测头，不会受到强磁干扰，无温度散发，可以在真空中使用

在线检测

高测量速度和开放的接口，可以应用于生产线相关的检测或控制系统

色散原理具有超高的耐表面性，高光洁表面也可以稳定检测

侧视测量，可以测量 小直径7mm的微孔侧壁形貌

测振计

高速的测量频率和纳米级的分辨率，可以应用在物体的振动测量

厚度测量

的色散共焦成像原理可以测量透明材料的厚度，具有极高的精确度

液位控制

非接触式测量，可以对液位进行检测和测量

表面形貌扫描 

符合新的ISO25178规定，能够测量几纳米以下表面粗糙度 

非接触式粗糙度测量，对表面没有任何影响

连接三维扫描设备，能够实现复杂表面的亚微米级精度的2D和3D测量