质量流量控制器/流量计/热式质量流量计型号:CS200A库号:M400064
CS200A质量流量控制器&流量计
CS200A气体质量流量控制器,采用传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面加岀色。全量程范围内,CS200C产品快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差小化,所需流量加。
•采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
•CS200产品严格按照SEMI标准制造,尺寸符合通用的SEMI标准。
•CS200系列产品支持±8V~±16V双电源,+14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
•产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
•具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
CS200A, ,2SLM,8mm卡套,RS485通讯,大工作压力0.45MPa,压差0.05-0.35MPa
技术参数
类型:CS200-A
阀类型:常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭
流量规格(N2):(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM
准确度:±1.0%S.P.(≥35%F.S.)
±0.35%F.S.(<35%F.S.)
线性:±0.5%F.S.
重复精度:±0.2%F.S.
响应时间:≤1sec
工作压差范围:
0.05~0.35MPa流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM,<0.02 MPa
大工作压力:0.45MPa
温度系数:零点:≤±0.05%F.S./℃;
调节时:≤±0.1%F.S./℃流量规格≤30SLM
调节时:≤±0.2%F.S./℃流量规格>30SLM
耐压强度:3MPa
漏率:1×10-10 Pa·m3/sec He
密封材料:氟橡胶
工作环境温度:(5~45)℃
输入信号:数字:RS485或DeviceNet或ProfiBus
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA或(0~20)mA
输出信号:数字::RS485或DeviceNet或ProfiBus
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA或(0~20)mA
零漂:在没有零点校正时<0.6%F.S./年
电源:±8~±16 VDC(双极)或+14~+28 VDC(单极)
表面化学成分:常态
表面粗糙度:25 Ra
标准接头形式:
双卡套φ6;双卡套1/4´´;双卡套3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
双卡套1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;
φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm;A型密封接头;
电源接头形式:D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头;ProfiBus接头;模拟接头
重量:1 Kg
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