测量范围广:5 X 10-7~1 Pa 全金属冷阴极陶瓷传感器 几何电极提供了的点火性能 降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样 阳极环和钛阴极可清洗,更换容易 小磁场强度测量 LED指示灯电源和等离子点火 对数模拟输出信号 Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信 用 途 高真空压强监测 蒸发和溅射系统 中, 高真空范围的一般真空测量与控制

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