该型规管采用的扩散硅压力传感器作为压力敏感元元件，具有各种标准或非标的管体封装结构。传感器内部的扩散硅芯片则由不锈钢316L制成的膜片和腔体进行封装。在腔体内部充入小于0.5cc的硅油作为传导介质。传感器的混合陶瓷基片上的温度补偿电阻环路，提供0~80℃的温度补偿，使零点和满量程的温度误差被控制在±0.5%以内。研发的线路板确保规管的性能和小巧紧凑的外观。
主要技术参数

1、测量范围：50kpa～50pa
100kpa～10pa
150kpa～150pa
200Kpa～200pa
2、敏感元件类型：扩散硅压力传感器
3、零散性：±0.15%（非线形+迟滞+重复性）
4、工作温度范围：-40~+80℃
5、长期稳定性：±0.3%满量程/年
6、管体封装密封材料：氟橡胶
6、允许过压范围：2.0×105Pa
7、真空连接形式及烘烤温度：
Φ15.5±0.1直管
KF10/16快卸法兰
KF25快卸法兰
KF40快卸法兰
M20×1.5螺纹
NPT1/8螺纹
VCR1/8接头
Φ6±0.1直管
Φ6.35±0.05直管