设备简介

设备由下列部件组成：

 电气控制：安装在控制柜内的电源插座产生供电。(相位是否正确由转向感应控制器监控)。所有的指示灯和按纽均标记并安装在控制柜门内。运行时间由工作时间计数器指示。在控制柜门内的操作盘有两个功能。1．显示预选自动功能的气体流程。2. 通过带灯按钮显示手动将阀打开。

手动操作： 将“Functions”开关到“0：手动操作”进行手动操作。通过已被装入的带灯按钮逐个预选定所有的阀(LEDs闪亮)。如果一个错误的阀被选中，所有被选的阀可被通过“重新设置阀”重新启动(LEDs熄灭)。预选阀可通过“开阀”按钮被打开(LEDs灯亮起)。只有当蒸发器达到操作温度时，电磁阀才可向上从蒸发器中开启(只适用于液态存储)。当真空泵抽空边无超压存在时电磁阀才可从真空泵中开启。注意：当用“0：手动操作”功能时，操作对自身正确气体处理是可靠的。

真窒泵：真空泵和真空测量装置已被进行过压保护。因此，可避免因过压造成仪器损坏。当真空泵抽空边无过压存在时，电磁阀才可从真空泵中开启。如果这只电磁阀和其他电磁阀一起被预选，它们也不能被打开。减低压缩机和真空压缩机中的SF6气体过压已在“气体恢复”功能描述中被描述。通过通风阀释放空气和氮气。真空泵只被排放到大气。l  压缩机：压缩机为干式压缩机并进行无油运行，这样可产生不同

的输出及不同的终压。压缩机管道的气密性完好。但压缩机的维护会比较容易实施。超压工作可被减压器和触点表控制。

真空压缩机：干式运行的真空压缩机由稳压器、电磁阀和单向阀来进行运行时的保护。当气体回收时真空压缩机处于自动开关的状态。

干燥过滤器，粒子过滤器：SF6气体由设备中的粒子过滤器净化并通过干燥过滤器进行干燥。每次的气体处理过程SF6气体都要通过这些过滤器。