Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

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Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

关键词：纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台

QNP系列压电纳米定位平台以紧凑，高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从到光学对准的应用的理想解决方案。

紧凑包装中的高质量

QNP压电平台受挠曲的指导，该挠曲使用有限元分析进行了优化，以确保高刚度和较长的设备寿命。终的设计提供了刚度和谐振频率，从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外，集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量，从而实现了静态和动态多轴性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电级均采用的电容传感器设计，提供闭环反馈选项，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现精度和可重复性。

超控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性（抖动）以及高定位带宽。

QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级定位分辨率，但又不需要定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与转接板一起安装。

所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点

Model		QNP40XY-100	QNP50XY-250	QNP60XY-500
Closed-Loop Travel		100 µm	250 µm	500 µm
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1)		120 µm	300 µm	600 µm
Resolution(2)	Closed-Loop	0.30 nm	0.50 nm	0.90 nm
Resolution(2)	Open-Loop	0.15 nm	0.20 nm	0.40 nm
Linearity(3,4)		0.01%	0.01%	0.007%
Bidirectional Repeatability(5)		2 nm	2 nm	5 nm
Pitch/Yaw		6 µrad (1.2 arc sec)	6 µrad (1.2 arc sec)	12 µrad (2.5 arc sec)
Stiffness (Direction of Motion)(6)		1.05 N/µm	0.36 N/µm	0.24 N/µm
Unloaded Resonant Frequency(6)	Top Axis	885 Hz	445 Hz	315 Hz
Unloaded Resonant Frequency(6)	Bottom Axis	635 Hz	295 Hz	200 Hz
Resonant Frequency (50 gram load)(6)	Top Axis	495 Hz	305 Hz	240 Hz
Resonant Frequency (50 gram load)(6)	Bottom Axis	335 Hz	240 Hz	170 Hz
Maximum Acceleration (Unloaded)(7)	Top Axis	600 m/s2	370 m/s2	210 m/s2
Maximum Acceleration (Unloaded)(7)	Bottom Axis	320 m/s2	160 m/s2	90 m/s2
Moving Mass (Unloaded)	Top Axis	42 g	56 g	98 g
Moving Mass (Unloaded)	Bottom Axis	79 g	126 g	217 g
Max Payload(8)		1 kg	1 kg	1 kg
Stage Mass		0.11 kg	0.17 kg	0.27 kg
Material		Anodized Aluminum(9)
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours

QNP-Z压电纳米定位平台可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级定位分辨率，但又不需要定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-XY位移台，其中公共行程与转接板一起安装。

机械规格（1）