溅射蒸碳仪 型号:S9AT/SD-900C
库号:D402923

规格 参数
主机 300mm×360mm×380mm(W×D×H)
副机 300mm×360mm×140mm(W×D×H)
真空规 皮拉尼真空计
溅射靶 二极直流溅射靶 (标配)磁控靶(选配)
靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm(D×H)
靶材 Au(纯度99.99%)
蒸发材料 碳纤维绳
样品室尺寸 160mm×120mm(D×H),硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
蒸碳面积 140mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
溅射大电流 50mA
热蒸发大电流 100A
溅射定时器时间 0-999s
热蒸发时间 0-1s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
溅射高电压 -1600DCV
热蒸发高电压 28V
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 40Kg
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