日本原装OTFC-1550真空电镀膜机

工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机

真空室尺寸：Φ600-1550mm

60点/80点式光学膜厚监控

使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

搭载双电子，多点和环型坩埚可镀100层以上

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

工件架可选择钟罩式或行星式

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

规格

设备名称OTFC-1550CBI/DBI

真空室SUS304, φ1550mm

工件架φ 1550mm

工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)

光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源电子2套

离子源10cm RF 离子源

排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）

性能

达到压力7.0 × 10-5 Pa 以下

排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)

基板温度：350℃

工作条件

设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.

电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA

水流量180升/分以上

空气压力0.5MPa 以上

重量约5400kg