台湾龙翩机1 200配置
机械泵:英国爱德华275
罗茨泵:英国爱德华2600
电子日 本:PL ASMATECH1 0KW
POLYCOLD: 美国POLYCOLD
离子源:美国KR|考夫曼离子源
加热系统:下加热灯管加热
气体流量:三路美国布鲁克斯流量计
晶控膜厚仪:美国英福康SQM-1 60
全自动一键操作系统,每炉产品参数带记忆储存功能
台湾龙翩机1400配置:
机械泵:美国凯尼真空泵
罗茨泵:德国普 发罗茨泵2000A
电子日 本:PL ASMATECH1 0KW
POLYCOLD: 美国POLYCOLD
离子源:美国KR|考夫曼离子源
加热系统:上烘烤电加热丝
气体流量:三路美国布鲁克斯流量计
晶控膜厚仪:美国英福康SQM-1 60
全自动一键操作系统,每炉产品参数带记忆储存功能
韩国2050光学机配置
机械泵:英国爱德华275
罗茨泵:英国爱德华EH2600
扩散泵:韩国双800
膜厚仪:美国英福康IC-5
电子日本:原装JEOL双(目 前单)
离子源:韩国霍尔源
深冷:韩国
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