加工定制 : |
否 |
品牌 : |
日本光驰 |
型号 : |
1300 |
适用范围 : |
镀膜行业 |
产品别名 : |
光学镀膜机 |
电镀电源 : |
直流电源 |
电镀位置 : |
浸镀 |
生产地 : |
日本 |
设备所在地 : |
东莞 |
晶控 : |
有 |
光控 : |
有 |
年份 : |
2018年 |
说明书 : |
有 |
日本原装光驰带射频源光学镀膜机 进口光学电镀机 日本原装真空镀膜机含冷水机,变压器130KVA,一套镀膜伞架,日本电子180度,
24穴+环形坩埚,美国POILCOLD1102,17寸RF射频源,2401机械泵,光控+6点晶控(XYC--3)
真空室SUS304,φ1300mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架转速10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器
离子源23cmRF离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
达到压力7.0×10-5 Pa以下
排气时间20分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度 :350℃
特点:
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
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