UV 解胶机

软件控制UV照射機UPA型，以PLC控制單片晶圓的UV膠膜照射過程，並隨時顯示實際執行的各項參數。
直徑達220㎜的照射窗口，可處理8”（200㎜）的標準規格晶圓。光源可更换更大面积的照射器。
特點：
※  桌上型設計－安裝簡單。
※  多功能控制面板－操作方便、穩定度高、維修容易，並可完成遠端控制的需求，依需求修改控制模式，更改操作螢幕之字型等。
※  全程監視系統－UVLED紫外灯
1.采用UV冷光源，代替了传统的高压汞灯，经过试验认证，使用寿命比普通汞灯寿命长数十倍以上，安全性高，热量小，功耗低
2.一键式全自动根据设定完成所有操作，在达到照射时间后会自动关闭，不需要启动和等待时间。
3.采用触摸屏作为人机界面，集成操作和错误，报警显示
4.使用于3inch～12inch的wafer，Frame可以定制 
功能特点：适用于半导体晶圆切割后的UV解胶工序 

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