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 蓝宝石抛光液是经特殊工艺生产的一种高纯度低的金属离子型抛光产品。

蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。如：化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。

 蓝宝石抛光液的特点：

 1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。

 2.高纯度（Cu含量小于50 ppb），有效减小对电子类产品的沾污。

 3.高平坦度加工，蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。

蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。

蓝宝石抛光液的型号：

碱性型号（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D

酸性型号（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D

粒径(nm)： 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130

外观： 乳白色或半透明液体

比重 1.15±0.05

组成 SiO2：15~30%

Na2O：≤0.3%

重金属杂质 ：≤50 ppb