药液流量计 种类 流量范围

药液流量计 种类 流量范围

涡轮流量计是吸取了国内外流量仪表先进技术经过优化设计，具有结构简单、轻巧、精度高、复现性好、反应灵敏，安装维护使用方便等特点的新一代涡轮流量计，广泛用于测量封闭管道中与不锈钢1Cr18Ni9Ti、2Cr13及刚玉Al2O3、合金不起腐蚀作用，且无纤维、颗粒等杂质，工作温度下运动粘度小于5×10-6m2/s的液体，对于运动粘度大于5×10-6m2/s的液体，可对流量计进行实液标定后使用，若与具有特殊功能的显示仪表配套，还可以进行定量控制、超量报警等，是流量计量和节能的理想仪表。

工作原理：

图所示为涡轮流量传感结构简图，由图可见，当被测流体流 过传感器时，在流体作用下，叶轮受力旋转，其转速与管道 平均流速成正比，叶轮的转动周期地改变磁电转换器的磁阻值，检测线图中的磁通随之发生周期性变化，产生周期性的感应电势，即电脉冲信号，经放大器放大后，送至显示仪表显示，涡轮流量计的流量方程可分为两种：实用流量方程和理论流量方程。

实用流量方程  qv=f/k 公式1    qm=qvp 公式2

式中qv,qm……分别为体积流量，m3/s；质量流量，kg/s

f……流量计输出信号的频率Hz；K……流量计的仪表系数，P/m3

结构：

涡轮流量计主体、前支撑、涡轮、前置放大器、后支撑、导流器、轴承等组成，前置放大器内设置有磁铁，感应线圈和放大单元，当被测流体经过流量计时，推动涡轮旋转，涡轮周期性地改变磁路的磁阻值，使通过线圈的磁通量发生周期性变化，从而在线圈内感应出脉动电信号，经放大和处理后传送至二次仪表，或就地现场显示，以实现流量积算。

产品特点：

1.高精确度，一般可达±1%R、±0.5%R，高精度型可达±0.2%R；
2.重复性好，短期重复性可达0.05%~0.2%；
3.就地显示，瞬时流量和累积流量；
4.输出脉冲频率信号，4-20mA，485通讯
5.可获得很高的频率信号，信号分辨力强；
6.范围度宽，中大口径可达1：20，小口径为1：10；
7.结构紧凑轻巧，安装维护方便，流通能力大；
8.适用高压测量，仪表表体上不必开孔，易制成高压型仪表；
9.专用型传感器类型多，可根据用户特殊需要设计为各类专用型传感器；
10.可制成插入型，适用于大口径测量，压力损失小，价格低，可不断流取出，安装维护方便。

技术参数：

流量范围：

药液流量计1：

药液流量计2：

一种自动配液系统的研究：

本文介绍了一种由PLC、触摸屏、配液隔膜泵、配液气控阀、流量测量计、化学配液管路以及气动控制系统构成的自动配液系统，详细描述该系统的使用原理和标定方法，并以一种hualu/华陆叶轮式流量计为例，验证了系统的配液精度和可行性。

1 技术背景

在集成电路制造过程中，清洗晶圆表面的污染和杂质是使用多的工艺步骤之一，清洗效果直接影响到产品的良率和组件的品质及可靠度。据统计，在半导体制造的全部工艺步骤中有30%是为了清洗晶圆或做晶圆的表面准备。也就是说，没有有效的清洗技术，便没有集成电路和超大规模集成电路的今天。

在集成电路湿法清洗工艺中，需要运用各种不同化学溶液来对晶圆表面进行清洗或蚀刻，其中大部分工艺的化学溶液是由多种化学溶液混合而成，而这些化学溶液的配比精度在集成电路湿法清洗工艺中起到至关重要的作用。所以对化学溶液的配比精度的控制，成为影响整个影响制程良率的关键环节。

2 自动配液系统原理及流程

自动配液系统由PLC、触摸屏、配液隔膜泵、配液气控阀、流量测量计、化学配液管路，及气动控制系统构成，如图1所示。

具体工作原理及流程如下：一步：先对供液系统中的流量计进行标定；二步：在如图2所示操作系统显示屏界面上输入配液指令，命令配液系统开始工作，PLC发出配液指令，命令气动控制系统使配液气控阀打开，配液隔膜泵工作；化学液从原液桶抽出，流经预先标定好的流量测量计，输送药液到设备工艺槽内；第三步：待流量测量计的累计流量到达设定值时，流量计发出停止信号给PLC;PLC收到停止信号后发出配液停止指令，命令气动控制系统使配液气控阀关闭，配液隔膜泵停止，整个配液系统停止配液。其配液系统流程图及电气原理图，如图3、4所示。

3 自动配液系统的标定方法

根据上面原理的介绍，我们不难发现配液系统的药液标定是整个系统配液可靠的前提及关键步骤。如果标定有误会导致整个系统配液无法准确。系统标定时的系统原理图，如图5所示：

具体步骤如下：

一步：将量杯防止槽体内，插好药液注入管，完成硬件安装工作；二部：在量筒的一个合适体积V0mL的位置做标记；第三步：在如图6所示操作系统显示屏界面上预先“容积处”输入V0值，点击“药液标定开始”按键，PLC发出配液指令，命令气动控制系统使配液气控阀打开，配液隔膜泵工作开始注入药液到量杯，待量杯内药液液面到V0mL时，点击“药液标定停止”按键，读取通过PLC内的高数计数器，读取流出V0mL时流量计产生的脉冲数；第四步：PLC通过程序反推算出流量计脉冲与流量之间的一个K系数；第五步：按以上步骤选取不同的VO值，计算输出10组K系数，求出平均值设定为流量计与流量之间的终K系数，完成流量计标定。

其自动配液系统的标定流程图及电气原理图，如图7、8所示。

4 自动配液系统精度测试实验及结果分析

为了验证本系统的配液精度，选择了一款叶轮式流量计，以水为介质进行测试。按上文所描述步骤先对流量计进行标定，标定结果如表1所示。

按照以上标定所得K值，在设备显示屏上分别输入1000m L、2 0 0 0 m L、3 0 0 0 m L、4000m L、5000m L注入量杯并进行称重计算，精确重读取实际配液体积，每种输入值读取10组数据，共50组数据进行分析，所得数据如表2～表5所示。

从以上数据可以看出，本系统的配液流量精度不大于±2%，可以满足常规半导体设备的使用需求。

5 结论

通过以上hualu/华陆叶轮式流量计的应用，验证了其可行性和有效性。下一步是如何提高其配液的精度，同时保证其安装系统的稳定性、可靠性，以及泵在工作时产生的管路振动对整个系统的影响。