· 本公司专为废气及半导体批发高能量准分子(Excimer)灯可有效放射波长172nm-180nm以下的VUV（真空紫外线），可 以往的185+254nm的紫外线杀菌灯的效率！废气净化油烟净化，半导体等领域从此迎来革命性的更新.....

高能准分子光源特点：

☑单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高,可达60μw/cm²；

☑ 非相干光有利于大面积加工；

☑无传统光源固有的电极腐蚀现象，使用寿命极大加长；

☑可随时瞬间开启熄灭，无需预热，无需快门，开关次数不影响使用寿命；

☑ 开启和运行不受周围环境温度影响；

☑冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应；

☑ 绿色环保。制造无需用汞，无二次污染和废旧灯管回收处理问题。 

172 nm波长准分子灯应用领域：

波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应，可广泛应用于：

☑ 半导体表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；

☑表面刻蚀和改性（如聚酰亚胺，氟材料等）；

☑低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；

☑光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；

☑ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电极；

☑ 表面活化，以增加表面张力和湿润性；

☑有机降解。除总有机碳（TOC）制取超纯水，分解农药残留，印染废水的光化学脱色；

☑废气净化，油烟净化比传统的185+254nm紫外线杀菌灯效率高；

· □HDD光碟清洗

· ☑助剂剥离

· ☑助剂残渣的剥离

· ☑塑胶基板清洗

· ☑金属表面的清洗与重组

· ☑Low-k Cure

· ☑pdp荧光头评估

· ☑分析评估前的清洗

· ☑恶臭气体分解

· ☑形成氧化膜

· ☑防止带电

· ☑干燥

· ☑玻璃胶膜的贴合

· ☑纤维的改质

· ☑有机EL封装管的结合性提升

· ☑有机EL的工作函数增加

；

单一波长、低溫处理

波长范围窄，172正负10nm，发光效率高。红外线发生量少，温度低，对产品影响小；可瞬间点灯，省去待机准备的时间；照射的同时可进行除静电处理；放电管内不充入汞等有害物质，对环境不产生 影响。并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低溫处理。

率

从电力转换为光能源的效率高（172nm型的转换率10%)，即使低电力已可产生大的能量。

可即亮灯即关灯

基于必要时照射必要量的能量，因此具备「不需要快门」、「实际上可延长使用寿命」等各种优点。

安装方向不受限制

灯的亮灯方向不受限制，可配合生产线做立面照射。 

波长分布曲线；

 对有机物的分解；

洁康的真空紫外线（VUV）方法的能量为7.2 eV，因此不会离解氮（N2）分子的键。因此，原则上不产生NOx（氮氧化物）。

使用汞灯的紫外线法；
常规的紫外线杀菌灯产生臭氧的波长（185 nm）和分解时的波长（254 nm）由于存在矛盾，很难有效地产生臭氧，
因此，洁康紫外线专注于真空紫外线，并利用其自身的技术原理上抑制了氮氧化物的产生，并有效地将VUV与无汞灯一起使用。通过产生臭氧，我们解决了每个问题。

臭氧产生

汞灯可解离波长为185 nm（6.7 eV）的氧气，从而产生臭氧。但是，由于它也会发出254 nm（4.9 eV）的光，因此它会分解产生的臭氧。因此，汞灯不能产生高浓度的臭氧。
另一方面，真空紫外光（VUV）具有短波长并能以高能量离解氧气，因此对氧气的吸收系数约为汞灯的10倍或以上，对臭氧的吸收系数约为1/10，因此VUV比汞灯更好。VUV产生的臭氧浓度更高。